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超微細加工技術

徳山巍編著. -- オーム社, 1997. -- (応用物理学シリーズ 応用物理学会編 ; 専門コース). <TW00178050>
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超微細加工技術

徳山巍編著. -- オーム社, 1997. -- (応用物理学シリーズ 応用物理学会編 ; 専門コース). <TW00178050>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3F/和図書５ 573.5/To 45 03876411 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3F/和図書５
請求記号 573.5/To 45
資料ID 03876411
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工技術 / 徳山巍編著
チョウビサイ カコウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 1997.2
形態事項 xiv,309p ; 22cm
巻号情報
ISBN 427402332X
書誌構造リンク 応用物理学シリーズ 応用物理学会編||オウヨウ ブツリガク シリーズ <> 専門コース||センモン コース//a
注記 参考文献:各章末
学情ID BN15970232
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 応用物理学会
オウヨウ ブツリ ガクカイ <>
著者標目リンク オウヨウ ブツリ ガッカイ
オウヨウ ブツリ ガッカイ <>
著者標目リンク 徳山, 巍(1929-)
トクヤマ, タカシ <>
分類標目 NDC:573.5
分類標目 NDC:549.8
件名標目等 ガラス||ガラス
件名標目等 ガラス製品||ガラスセイヒン
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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