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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ カテゴリーI エレクトロニクス材料・物性・デバイス 15). <TW00166056>
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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ カテゴリーI エレクトロニクス材料・物性・デバイス 15). <TW00166056>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3F/和図書５ 549.08/A 16/1-15 03422313 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3F/和図書５
請求記号 549.08/A 16/1-15
資料ID 03422313
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1995.12
形態事項 xi,366p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563036153
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ カテゴリーI エレクトロニクス材料・物性・デバイス 15||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <>//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
ウルトラ クリーン ULSI ギジュツ
注記 参考文献:各章末
注記 監修:菅野卓雄[ほか]
学情ID BN13643698
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大見, 忠弘
オオミ, タダヒロ <>
分類標目 NDC:549.08
分類標目 NDC:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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