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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; カテゴリ- I エレクトロニクス材料・物性・デバイス 5). <TW00150501>
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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; カテゴリ- I エレクトロニクス材料・物性・デバイス 5). <TW00150501>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3F/和図書５ 549.08/A 16/1-5 03104427 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3F/和図書５
請求記号 549.08/A 16/1-5
資料ID 03104427
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1994.5
形態事項 xii,361p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563036056
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <> カテゴリ- I エレクトロニクス材料・物性・デバイス 5||カテゴリ- 1//a
注記 各章末:参考文献
注記 監修:菅野卓雄ほか
学情ID BN10742751
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 阿部, 孝夫
アベ, タカオ <>
分類標目 NDC:549.08
分類標目 NDC:549.8
件名標目等 シリコン(半導体)
件名標目等 結晶成長
件名標目等 電子部品
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