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ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 石原健[ほか]共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology ; 材料工学編 M08). <TW00127080>
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ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 石原健[ほか]共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology ; 材料工学編 M08). <TW00127080>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/和図書５ 549.8/F 93 02366991 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/和図書５
請求記号 549.8/F 93
資料ID 02366991
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 石原健[ほか]共著
ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1991.3
形態事項 xi,262p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621035835
書誌構造リンク Maruzen advanced technology||Maruzen advanced technology <> 材料工学編 M08||ザイリョウ コウガク M08//a
学情ID BN06180206
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)
フルカワ, セイジロウ <>
著者標目リンク 石原, 健
イシハラ, タケシ <>
著者標目リンク 堂山, 昌男(1927-)
ドウヤマ, マサオ <>
分類標目 NDC:549.8
件名標目等 集積回路
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