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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安[ほか]著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <TW00125692>
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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安[ほか]著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <TW00125692>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/和図書５ 549.8/N 39 03983102 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/和図書５
請求記号 549.8/N 39
資料ID 03983102
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安[ほか]著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
出版・頒布事項 東京 : 東京電機大学出版局 , 1989.3
形態事項 vi,240p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4501313307
巻号情報
ISBN 4501313300
学情ID BN03301767
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中野, 朝安(1923-)
ナカノ, トモヤス <>
分類標目 NDC:549.8
件名標目等 集積回路
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