中部大学附属三浦記念図書館

半導体評価技術

河東田隆編著. -- 産業図書, 1989. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <TW00125983>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 研究室 90/90709 549.8/Ka 86 02390337 問い合わせ   0件
No. 0001
巻号
所蔵館 研究室
配置場所 90/90709
請求記号 549.8/Ka 86
資料ID 02390337
禁帯出区分 問い合わせ
状態  
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体評価技術 / 河東田隆編著
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1989.2
形態事項 8,330p ; 22cm
巻号情報
ISBN 478285627X
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <>//a
注記 監修:菅野卓雄
注記 執筆:奥村次徳[ほか]
学情ID BN03233656
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 河東田, 隆(1944-)
カトウダ, タカシ <>
著者標目リンク 菅野, 卓雄(1931-)
スガノ, タクオ <>
著者標目リンク 奥村, 次徳
オクムラ, ツグノリ <>
分類標目 NDC:549.8
件名標目等 半導体