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微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材One Point 高分子学会編 ; 3). <TW00125253>
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微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材One Point 高分子学会編 ; 3). <TW00125253>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3F/和図書５ 578.08/Ko 14/3 02300400 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3F/和図書５
請求記号 578.08/Ko 14/3
資料ID 02300400
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 1987.11
形態事項 99p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320042271
書誌構造リンク 高分子新素材One Point 高分子学会編||コウブンシ シンソザイ One Point <> 3||3//a
学情ID BN01734322
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎
ノノガキ, サブロウ <>
分類標目 NDC:549.8
分類標目 NDC:578.08
件名標目等 集積回路
件名標目等 電子光学
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