中部大学附属三浦記念図書館
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マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; 002). <TW00185878>
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マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; 002). <TW00185878>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/和図書５ 549.7/N 95 04284755 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/和図書５
請求記号 549.7/N 95
資料ID 04284755
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1986.10
形態事項 116p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4621031155
書誌構造リンク Frontier technology series||Frontier technology series <> 002//a
学情ID BN01140871
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎
ノノガキ, サブロウ <>
分類標目 NDC:749.13
件名標目等 フォートエッチング||フォートエッチング
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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