中部大学附属三浦記念図書館
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微細加工

半導体研究振興会編. -- 工業調査会, 1977. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1). <TW00231813>
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半導体研究振興会編. -- 工業調査会, 1977. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1). <TW00231813>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3F/和図書５ 549.808/H 29/14 00791091 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3F/和図書５
請求記号 549.808/H 29/14
資料ID 00791091
禁帯出区分 　
状態 　
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 / 半導体研究振興会編
ビサイ カコウ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1977.12
形態事項 9, 376p ; 27cm
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <> 14 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 1//b
学情ID BN00697901
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 半導体研究振興会
ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ <>
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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