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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コ-ティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <TW00109574>
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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コ-ティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <TW00109574>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3F/和図書４ 431.89/Ki 41 01326775 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3F/和図書４
請求記号 431.89/Ki 41
資料ID 01326775
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コ-ティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク・コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 東京大学出版会 , 1984.3
形態事項 231p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4130610473
注記 各章末:参考文献 一般参考書:p226
学情ID BN00164488
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 金原, 粲(1933-)
キンバラ, アキラ <>
分類標目 NDC:549
件名標目等 薄膜
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