中部大学附属三浦記念図書館
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • レビュー履歴
    • タグ履歴
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 購入依頼

中部大学附属三浦記念図書館

前の画面へ戻る

はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 技術評論社, 2012. -- (現場の即戦力). <TB00160438>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
レビューを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 技術評論社, 2012. -- (現場の即戦力). <TB00160438>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
レビューを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3F/和図書５ 549.7/O 48 20120002851 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3F/和図書５
請求記号 549.7/O 48
資料ID 20120002851
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 技術評論社 , 2012.1
形態事項 x, 301p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784774149394
書誌構造リンク 現場の即戦力||ゲンバ ノ ソクセンリョク <TB00160436>//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体リソグラフィ技術 : はじめての
ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ : ハジメテ ノ
注記 工業調査会 2003年刊の改訂
注記 参考文献: 各章末
学情ID BB07670705
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00012019>
著者標目リンク 鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU00012020>
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU00012021>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
このページのTOPへ
前の画面へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    購入依頼

    この書誌のQRコード