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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン(等)

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員. -- イオン工学研究所, 2004. <TB00062496>
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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン(等)

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員. -- イオン工学研究所, 2004. <TB00062496>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 1F/参考 549.103/H 67 20040008301 館内のみ 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 1F/参考
請求記号 549.103/H 67
資料ID 20040008301
禁帯出区分 館内のみ
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン(等) / 平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員
イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ
出版・頒布事項 枚方 : イオン工学研究所
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 (発売) , 2004.10
形態事項 xviii, 1126p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4526053805
その他の標題 標題紙タイトル:Ion engineering handbook
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック
ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク イオン コウガク ハンド ブック
注記 監修: 水野博之
注記 その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之
注記 参考文献あり
学情ID BA69821835
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 平尾, 孝
ヒラオ, タカシ <>
著者標目リンク 岩本, 信也
イワモト, ノブヤ <>
著者標目リンク 尾浦, 憲治郎(1941-)
オウラ, ケンジロウ <>
著者標目リンク 鯉沼, 秀臣
コイヌマ, ヒデオミ <>
著者標目リンク 笹部, 馨
ササベ, カオル <>
著者標目リンク 松波, 弘之(1939-)
マツナミ, ヒロユキ <>
著者標目リンク 水野, 博之
ミズノ, ヒロユキ <>
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
分類標目 科学技術 NDLC:ND351
件名標目等 イオン||イオン
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