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Fundamental electron interactions with plasma processing gases

Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff. -- Kluwer Academic/Plenum Publishers, 2004. -- (Physics of atoms and molecules). <TB00072047>
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Fundamental electron interactions with plasma processing gases

Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff. -- Kluwer Academic/Plenum Publishers, 2004. -- (Physics of atoms and molecules). <TB00072047>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/洋図書４ 427.6/C 58 20050006555 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/洋図書４
請求記号 427.6/C 58
資料ID 20050006555
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Fundamental electron interactions with plasma processing gases / Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff
出版・頒布事項 New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers , c2004
形態事項 xii, 776 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
ISBN 0306480379
書誌構造リンク Physics of atoms and molecules <>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA65557815
本文言語コード 英語
著者標目リンク Christophorou, L. G. <>
著者標目リンク Olthoff, James Kenneth, 1958- <>
分類標目 LCC:QC794.6.C6
分類標目 DC22:539.7/57
件名標目等 Electron-molecule collisions
件名標目等 Plasma (Ionized gases)
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