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Lecture notes on principles of plasma processing

Francis F. Chen and Jane P. Chang. -- Kluwer Academic/Plenum Publishers, 2002. <TB00072032>
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Lecture notes on principles of plasma processing

Francis F. Chen and Jane P. Chang. -- Kluwer Academic/Plenum Publishers, 2002. <TB00072032>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/洋図書４ 427.6/C 38 20050012230 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/洋図書４
請求記号 427.6/C 38
資料ID 20050012230
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Lecture notes on principles of plasma processing / Francis F. Chen and Jane P. Chang
出版・頒布事項 New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers , c2003
形態事項 ix, 208 p : ill. ; 28 cm + 1 CD-ROM
巻号情報
ISBN 0306474972
学情ID BA61392702
本文言語コード 英語
著者標目リンク Chen, Francis F., 1929- <>
著者標目リンク Chang, Jane P., 1970- <>
分類標目 DC21:621.044
件名標目等 Plasma engineering
件名標目等 Plasma chemistry
件名標目等 Plasma dynamics
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