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Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A.

editors, Daniel F. Downey ... [et al.]. -- Materials Research Society, 2002. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 717). <TB00067671>
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Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A.

editors, Daniel F. Downey ... [et al.]. -- Materials Research Society, 2002. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 717). <TB00067671>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/洋図書５ 549.8/D 89 20050002155 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/洋図書５
請求記号 549.8/D 89
資料ID 20050002155
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A. / editors, Daniel F. Downey ... [et al.]
出版・頒布事項 Warrendale, Pa. : Materials Research Society , c2002
形態事項 xi, 312 p. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 1558996532
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <> v. 717//a
注記 Includes bibliographical references and indexes
学情ID BA5886207X
本文言語コード 英語
著者標目リンク Downey, Daniel F. <>
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