中部大学附属三浦記念図書館

ULSIプロセス技術

原央編. -- 培風館, 1997. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ カテゴリー1 エレクトロニクス材料・物性・デバイス 17). <TW00179446>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3F/和図書5 549.08/A 16/1-17 03788512     0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3F/和図書5
請求記号 549.08/A 16/1-17
資料ID 03788512
禁帯出区分  
状態  
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 ULSIプロセス技術 / 原央編
ULSI プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1997.6
形態事項 x,286p ; 22cm
巻号情報
ISBN 456303617X
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ カテゴリー1 エレクトロニクス材料・物性・デバイス 17||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <>//a
注記 監修:菅野卓雄[ほか]
注記 参考文献:各章末
学情ID BA30760470
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 原, 央
ハラ, ヒサシ <>
分類標目 NDC:549.08
分類標目 NDC:549.7