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Ion implantation in semiconductors : proceedings of the II. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors, Physics and Technology, Fundamental and Applied Aspects, May 24-28, 1971, Garmisch-Partenkirchen, Bavaria, Germany

edited by I. Ruge and J. Graul. -- Springer-Verlag, 1971. <TY00084143>
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Ion implantation in semiconductors : proceedings of the II. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors, Physics and Technology, Fundamental and Applied Aspects, May 24-28, 1971, Garmisch-Partenkirchen, Bavaria, Germany

edited by I. Ruge and J. Graul. -- Springer-Verlag, 1971. <TY00084143>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/洋図書４ 428.85/I 57/2 01194160 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/洋図書４
請求記号 428.85/I 57/2
資料ID 01194160
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 Ion implantation in semiconductors : proceedings of the II. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors, Physics and Technology, Fundamental and Applied Aspects, May 24-28, 1971, Garmisch-Partenkirchen, Bavaria, Germany / edited by I. Ruge and J. Graul
出版・頒布事項 Berlin ; New York : Springer-Verlag , 1971
形態事項 506 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
ISBN 3540056661
巻号情報
ISBN 0387056661
注記 Includes bibliographical references
学情ID BA17111112
本文言語コード 英語
著者標目リンク *International Conference on Ion Implantation in Semiconductors <> (2nd : 1971 : Garmisch-Partenkirchen, Ger.)
著者標目リンク Ruge, Ingolf <>
著者標目リンク Graul, Jürgen <>
分類標目 NDC7:427.15
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC:621.3815/2
件名標目等 Ion implantation -- Congresses
件名標目等 Semiconductors -- Congresses
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