中部大学附属三浦記念図書館

Laser microfabrication : thin film processes and lithography

edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao. -- Academic Press, 1989. <TY00048594>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/洋図書4 425/E 36 02562138     0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/洋図書4
請求記号 425/E 36
資料ID 02562138
禁帯出区分  
状態  
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 Laser microfabrication : thin film processes and lithography / edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao
出版・頒布事項 Boston ; Tokyo : Academic Press , c1989
形態事項 xii, 587 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122334302
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA07027712
本文言語コード 英語
著者標目リンク Ehrlich, Daniel J. <>
著者標目リンク Tsao, Jeffrey Y. <>
分類標目 LCC:TA1677
分類標目 DC:621.36/6
分類標目 NDC:425
分類標目 NDC:427.8
分類標目 NDC:549.95
件名標目等 Lasers -- Industrial applications
件名標目等 Thin film devices -- Design and construction
件名標目等 Microlithography