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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators

Ian W. Boyd. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <TY00042404>
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Ian W. Boyd. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <TY00042404>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/洋図書４ 425.9/B 69 02212099 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/洋図書４
請求記号 425.9/B 69
資料ID 02212099
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators / Ian W. Boyd
出版・頒布事項 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1987
形態事項 viii, 320 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0387179518
巻号情報
ISBN 3540179518
書誌構造リンク Springer series in materials science <> v. 3//a
注記 Bibliography: p. 287-313
注記 Includes index
学情ID BA01434688
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Boyd, Ian W. <>
分類標目 LCC:TA1677
分類標目 DC:621.36/6
分類標目 NDC:425.9
件名標目等 Lasers -- Industrial applications
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