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Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ;v. 16). <TY00056581>
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Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ;v. 16). <TY00056581>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/洋図書５ 549.3/E 39/16 01287974 　 　 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/洋図書５
請求記号 549.3/E 39/16
資料ID 01287974
禁帯出区分 　
状態 　
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Lithography for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts
出版・頒布事項 Orlando, Fla. ; Tokyo : Academic Press , 1987
形態事項 xi, 361 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341163
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <>v. 16//b
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA01291241
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <>
著者標目リンク Watts, R. K. (Roderick K.), 1939- <>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC:621.381/73 s
分類標目 DC:621.381/73
分類標目 NDC:549.3
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Printed circuits
件名標目等 Lithography
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