中部大学附属三浦記念図書館

VLSI metallization

edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ;v. 15). <TY00034207>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1F/洋図書5 549.3/E 39/15 01287982     0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1F/洋図書5
請求記号 549.3/E 39/15
資料ID 01287982
禁帯出区分  
状態  
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 VLSI metallization / edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat
出版・頒布事項 Orlando, Fla. ; Tokyo : Academic Press , 1987
形態事項 x, 480 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341155
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <>v. 15//b
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA01170156
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <>
著者標目リンク Cohen, Simon S. <>
著者標目リンク Gildenblat, Gennady Sh. <>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC:621.381/73 s
分類標目 DC:621.381/73
分類標目 NDC:549.3
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction
件名標目等 Metallic films